Martin Knaut erklärt in „Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomlagenabscheidung“ die Grundlagen der Schichtdickenmessung.
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Martin Knaut erklärt in „Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomlagenabscheidung“ die Grundlagen der Schichtdickenmessung.